国产首台28纳米关键尺寸电子束量测量产设备在无锡高新区出机
新华财经|2025年08月19日
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近日，国产首台28纳米关键尺寸电子束量测量产设备在无锡高新区成功出机，标志着我国在半导体高端装备领域取得新突破，将为集成电路产业链关键环节自主可控提供支撑。
电子束晶圆量检测设备作为芯片制造领域的核心设备，具有较高的技术壁垒。此次出机的28纳米关键尺寸电子束量测量产设备由无锡亘芯悦科技有限公司自主研发，实现了电子光学系统、运动平台、电子电路及软件等全链条技术突破，有助于解决我国在高端半导体量检测设备领域的发展难题，对填补国内集成电路产业关键环节空白具有里程碑意义。
活动现场，亘芯悦科技与上海交通大学自动化与感知学院共建的电子光学AI平台联合实验室同步揭牌。双方将聚焦技术创新、产业应用与人才培养，构建“理论突破—工艺验证—产线落地”协同创新体系，为设备迭代升级提供持续动能。
作为全国集成电路产业重镇，近年来无锡持续优化产业生态，出台集成电路高质量发展36条措施，设立总规模50亿元的江苏无锡集成电路产业专项基金，吸引国家集成电路产业投资基金投入超百亿元，先后获批国家集成电路设计无锡产业化基地、国家微电子高新技术产业基地、国家集成电路特色工艺及封装测试创新中心。（赵畅）
编辑：穆皓
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